ชนิดไครโอเจนิกส์ที่มีประสิทธิภาพสูงเครื่องแยกของเหลวไนโตรเจนในอากาศและเครื่องกำเนิดออกซิเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง

อากาศดิบมาจากอากาศ ผ่านตัวกรองอากาศเพื่อกำจัดฝุ่นและอนุภาคทางกลอื่นๆ และเข้าสู่เครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมันหล่อลื่นและถูกอัดด้วยคอมเพรสเซอร์สองขั้นตอนเป็นประมาณ 0.65MPa(g) ผ่านเครื่องทำความเย็นและเข้าสู่หน่วยทำความเย็นล่วงหน้าเพื่อระบายความร้อนที่ 5~10℃ จากนั้นจึงเปลี่ยนไปเปลี่ยนเครื่องกรอง MS เพื่อกำจัดความชื้น CO2 คาร์บอนไฮโดรเจน เครื่องฟอกประกอบด้วยถังบรรจุตะแกรงโมเลกุลสองใบ ชนิดหนึ่งมีการใช้งานในขณะที่อับเรณูอยู่ระหว่างการฟื้นฟูโดยเสียไนโตรเจนจากกล่องเย็นและผ่านการทำความร้อนด้วยฮีตเตอร์

หลังจากบริสุทธิ์แล้ว ส่วนเล็กๆ จะถูกใช้เป็นก๊าซแบริ่งสำหรับเครื่องขยายกังหัน ส่วนอื่นๆ จะเข้าสู่กล่องเย็นเพื่อระบายความร้อนด้วยการไหลย้อน (ออกซิเจนบริสุทธิ์ ไนโตรเจนบริสุทธิ์ และไนโตรเจนเสีย) ในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก ส่วนหนึ่งของอากาศถูกดูดออกจากส่วนตรงกลางของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก และไปยังกังหันส่วนขยายเพื่อผลิตความเย็น อากาศที่ขยายตัวส่วนใหญ่จะไหลผ่านเครื่องทำความเย็นย่อยซึ่งระบายความร้อนด้วยออกซิเจนจากคอลัมน์ด้านบนเพื่อส่งไปยังคอลัมน์ด้านบน ส่วนเล็กๆ จะไหลผ่านบายพาสไปยังท่อไนโตรเจนเสียโดยตรง และถูกทำให้ร้อนอีกครั้งเพื่อออกจากกล่องเย็น อากาศอีกส่วนหนึ่งยังคงถูกทำให้เย็นลงจนใกล้กับอากาศของเหลวเพื่อดึงดูดไปยังคอลัมน์ด้านล่าง

ในอากาศคอลัมน์ล่าง อากาศจะถูกแยกและทำให้กลายเป็นของเหลวเป็นไนโตรเจนเหลวและอากาศเหลว ส่วนหนึ่งของไนโตรเจนเหลวถูกแยกออกจากด้านบนของคอลัมน์ล่าง อากาศของเหลวหลังจากระบายความร้อนและควบคุมปริมาณจะถูกส่งไปยังส่วนตรงกลางของคอลัมน์ด้านบนเพื่อเป็นการไหลย้อน

ออกซิเจนของผลิตภัณฑ์จะถูกดูดออกจากส่วนล่างของคอลัมน์ด้านบน และอุ่นด้วยเครื่องทำความเย็นแบบขยายอากาศ ซึ่งเป็นการแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก จากนั้นจะถูกส่งออกจากคอลัมน์ ไนโตรเจนเสียจะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์ด้านบน และถูกทำให้ร้อนอีกครั้งในเครื่องทำความเย็นย่อยและเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักเพื่อออกจากคอลัมน์ ส่วนหนึ่งใช้เป็นก๊าซฟื้นฟูสำหรับเครื่องกรอง MS ไนโตรเจนบริสุทธิ์จะถูกดูดออกจากด้านบนของคอลัมน์ด้านบน และถูกทำให้ร้อนอีกครั้งในอากาศเหลว เครื่องทำความเย็นไนโตรเจนเหลว และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักที่จะจัดส่งออกจากคอลัมน์

ออกซิเจนออกจากคอลัมน์การกลั่นจะถูกบีบอัดไปยังลูกค้า